사업분야

사업분야

공정/테스트

Test Bed

설계

기구
회로
SW

제조/조립

FAB

  • Valve (EtherCAT)
  • Motion Control
  • Sub System
Sub System

반도체 핵심 부품/모듈 개발 및 제조

  • • 반도체 장비용 진공밸브 (APC 및 Throttle Valve, EtherCAT 통신방식)
  • • 반도체 모션제어 및 신호처리 부품 (Tray Counter Module, I/O Board, Motor Driver Module)
  • • 반도체 장비용 모듈 설계/제조/조립 (EtherCAT용 Chamber, 기타 부품 등)
  • Video