사업분야
![](/wp-content/uploads/2023/12/bus_icon1.png)
공정/테스트
Test Bed
![](/wp-content/uploads/2023/12/bus_icon2.png)
설계
기구
회로
SW
![](/wp-content/uploads/2023/12/bus_icon1.png)
제조/조립
FAB
- Valve (EtherCAT)
![bus4-2](https://u-system.co.kr/wp-content/uploads/2024/01/bus4-2.png)
- Motion Control
![bus3-1](https://u-system.co.kr/wp-content/uploads/2024/01/bus3-1.png)
- Sub System
![Sub System](https://u-system.co.kr/wp-content/uploads/2023/12/bus5.png)
반도체 핵심 부품/모듈 개발 및 제조
- • 반도체 장비용 진공밸브 (APC 및 Throttle Valve, EtherCAT 통신방식)
- • 반도체 모션제어 및 신호처리 부품 (Tray Counter Module, I/O Board, Motor Driver Module)
- • 반도체 장비용 모듈 설계/제조/조립 (EtherCAT용 Chamber, 기타 부품 등)
- Video