| 2013 |
5월 |
벤처기업 인증 [제20200102364호] – 2020 재인증 |
| 2014 |
2월 |
플레이트정열장치 특허 [제10-1363083호] |
| 5월 |
Valves CE 인증 [D1 14 05 87084 002] |
| 12월 |
버터플라이밸브 디자인등록 [제30-0776508호] |
| 2015 |
7월 |
Valves CE 인증 [D1 15 07 87084 001] |
| 스로틀밸브 특허 [제10-1538109호] |
| 11월 |
버터플라이밸브 관련디자인등록 [제30-0825648호] |
| 2016 |
8월 |
스로틀밸브 특허 [제10-1646667호] |
| 2018 |
3월 |
Valves CE 인증 [D1 18 03 87084 004] |
| 2019 |
3월 |
쓰로틀 밸브 특허[제10-1963856호] |
| 5월 |
Throttle valve EtherCAT Conformance Test Certification |
| 9월 |
특허: 전원스위치가 장착된 반도체 제조공정용 가스 챔버의 압력 제어밸브장치 [제10-2025838호] |
| 2020 |
6월 |
소재·부품·장비 전문기업확인서 [제22653호] |
| 11월 |
특허: 이더캣을 이용한 반도체 스토커 시스템의 풉(FOUP) 제어보드 고장검출 방법 및 장치[제10-2180626호] |
| 2021 |
1월 |
Tray Counter Module CE [D1 08784 0005 REV.00] |
| 11월 |
Exhaust Valve Controller CE [D1 E8A 087084 0006 Rev.00] |
| APC Valve CE인증 [E8A 087084 0007] |
| 12월 |
[혁신기업 국가대표 1000] 2회차 기업 선정 |
| 2022 |
1월 |
특허출원: 진공침버 내압 제어옹 밸브장치 [10-2022-0005852) |
| 특허출원 : 압력 제어 시스템에서의 비례압력제어 밸브 제어 기준 값 설정 방법 및 그를 이용한 압력제어 시스템 [10-2022-0010297) |
| 특허출원 : 챔버 압력에 따라 다른 기준값을 적용하는 압력제어시스템의 챔버 압력제어 방법 및 그를 위한 압력제어시스템 [10-2022-0011396) |
| 7월 |
기업부설연구소 인증 |
| 11월 |
APC EtherCAT Conformance Test Certification |
| 2023 |
3월 |
ISO 9001 : 2015 [KQ 233209] |
| ISO 45001 : 2018 [KS 23361] |
| ISO 14001 : 2015 [KE231959] |
| 4월 |
특허출원 : 부산물 제거기능을 구비하는 진공압력조절밸브 [10-2023-0051147] |
| 6월 |
양산성능평가 인증 [반도체 ALD 장비용 진공압력조절밸브] |
| 9월 |
SSQ 인증 |
| 11월 |
특허 : 진공챔버 내압 제어용 밸브장치 [제10-2605998호] |
| 2024 |
2월 |
특허: 압력 제어 시스템에서의 비례압력제어 밸브 제어 [제10-2644149호] |
특허증
기업부설연구인정서
관련디자인등록증
디자인등록증
벤처기업확인서
소재부품장비전문기업확인서
인증서
인증서
인증서
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특허증
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