회사소개

인증현황

연도 내용
2013 5월 벤처기업 인증 [제20200102364호] – 2020 재인증
2014 2월 플레이트정열장치 특허 [제10-1363083호]
5월 Valves CE 인증 [D1 14 05 87084 002]
12월 버터플라이밸브 디자인등록 [제30-0776508호]
2015 7월 Valves CE 인증 [D1 15 07 87084 001]
스로틀밸브 특허 [제10-1538109호]
11월 버터플라이밸브 관련디자인등록 [제30-0825648호]
2016 8월 스로틀밸브 특허 [제10-1646667호]
2018 3월 Valves CE 인증 [D1 18 03 87084 004]
2019 3월 쓰로틀 밸브 특허[제10-1963856호]
5월 Throttle valve EtherCAT Conformance Test Certification
9월 특허: 전원스위치가 장착된 반도체 제조공정용 가스 챔버의 압력 제어밸브장치 [제10-2025838호]
2020 6월 소재·부품·장비 전문기업확인서 [제22653호]
11월 특허: 이더캣을 이용한 반도체 스토커 시스템의 풉(FOUP) 제어보드 고장검출 방법 및 장치[제10-2180626호]
2021 1월 Tray Counter Module CE [D1 08784 0005 REV.00]
11월 Exhaust Valve Controller CE [D1 E8A 087084 0006 Rev.00]
APC Valve CE인증 [E8A 087084 0007]
12월 [혁신기업 국가대표 1000] 2회차 기업 선정
2022 1월 특허출원: 진공침버 내압 제어옹 밸브장치 [10-2022-0005852)
특허출원 : 압력 제어 시스템에서의 비례압력제어 밸브 제어 기준 값 설정 방법 및 그를 이용한 압력제어 시스템 [10-2022-0010297)
특허출원 : 챔버 압력에 따라 다른 기준값을 적용하는 압력제어시스템의 챔버 압력제어 방법 및 그를 위한 압력제어시스템 [10-2022-0011396)
7월 기업부설연구소 인증
11월 APC EtherCAT Conformance Test Certification
2023 3월 ISO 9001 : 2015 [KQ 233209]
ISO 45001 : 2018 [KS 23361]
ISO 14001 : 2015 [KE231959]
4월 특허출원 : 부산물 제거기능을 구비하는 진공압력조절밸브 [10-2023-0051147]
6월 양산성능평가 인증 [반도체 ALD 장비용 진공압력조절밸브]
9월 SSQ 인증
11월 특허 : 진공챔버 내압 제어용 밸브장치 [제10-2605998호]
2024 2월 특허: 압력 제어 시스템에서의 비례압력제어 밸브 제어 [제10-2644149호]

인증서

특허증

작성자  :
admin
작성일  :
2024-01-09 10:33
조회  :
7